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提出了一种定量相分析方法,通过X射线衍射分析扩散获得的多相薄膜。给出了考虑不同相的空间分布的强度校正,以及在没有标准的情况下相浓度的计算。结果表明,如果不考虑相位分布的非均匀性,就会产生重要的误差。作为一个例子,给出了通过扩散过程获得的黄铜层的定量相分析。
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