High-resolution triple-crystal X-ray diffraction experiments performed at the Australian National Beamline Facility on a silicon sample with lateral periodic superstructure

Nikulin, A.Y.; Stevenson, A.W.; Hashizume, H.; Wilkins, S.W.; Cookson, D.; Foran, G.; Garrett, R.F.

doi:10.1107/S0021889894010101

澳大利亚国家束线设施对具有横向周期超结构的硅样品进行的高分辨率三晶X射线衍射实验

A.余。尼库林,A.W.史蒂文森,H.哈希祖姆,S.W.威尔金斯,D.库克森,G.福兰和R.F.加勒特

这里报告的同步辐射X射线结果来自澳大利亚国家光束线设施（ANBF）进行的第一次高分辨率三晶衍射实验。ANBF的中心是一个多用途高分辨率双轴真空X射线衍射仪。所研究的Si（111）样品已注入B⁺离子通过一维SiO₂具有5.83μm周期和4μm开放区域的带状图案，以产生横向上具有周期性上部结构的样品。三晶体数据以二维强度图的形式收集在111布拉格峰附近。比较了在空气和真空中收集的结果，以及有和无氧化层的结果。真空中收集的数据表明，在ANBF中，可以以50°深度分辨率测量垂直于样品表面的晶格畸变。

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