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磁控溅射Co/SiO的结构2利用掠入射小角X射线散射、X射线衍射、透射电子显微镜和离子散射技术对多层膜进行了研究。本文还对纳米颗粒三维自组装系综的X射线散射进行了理论描述。数据表明,富钴纳米颗粒在三维晶格中自组织,观察到晶格参数和平均粒径对标称层厚度的依赖性。最初非晶态富钴层在沉积过程中容易结晶,生成纯钴和钴氧化物颗粒。这些结果对于控制固体非晶基质中金属纳米粒子的生产和可靠表征具有重要意义,旨在获得有序的单分散纳米粒子系综。

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