嵌入FeSi的硅层亚表面沿两个垂直晶体学方向的平面外和主要平面内晶格应变分布2利用同步辐射X射线束能量的ω：φ映射，对纳米颗粒进行了分析和解析(
)和（111）布拉格表面衍射峰。离子束诱导Fe外延结晶制备纳米颗粒+-注入的Si（001）在注入/再结晶区域内具有不同的取向和形态（球形和板状纳米颗粒）。结果表明，合成材料的形状会对周围的硅晶格产生奇异的影响。通过非常规X射线布拉格表面衍射技术阐明的晶格应变分布清楚地显示出各向异性效应，主要由板状纳米颗粒引起。这种精细检测反映了该方法的一个关键应用，可用于区分畸变半导体衬底层中的应变。
