从薛定谔方程出发，导出了高能电子散射的Cowley和Moodie多层公式，并通过稳态相位近似从理论上证明了有限条方法在实际计算中的有效性。开发了一套多层法的计算机程序，其中卷积积分是通过快速傅里叶变换进行的。在多切片计算中需要以下条件才能获得足够精确的结果：（1）最大切片厚度应为克朗2，其中k个是入射电子的波数d日是电势没有明显变化的距离；（2） 为了防止卷积的混叠效应，在多层迭代中必须有足够数量的波束。当样品厚度超过一定值时，多次散射会掩盖真实的样品结构。除了通过本工作中开发的程序获得的散射振幅外，还可以从散射电子的概率分布中识别出多次散射的这种影响。
