本文对Love波在由沉积在石英衬底上的二维周期性蚀刻二氧化硅膜组成的微型声子晶体（PC）结构中的传播进行了数值和实验研究。利用复能带结构计算，分析了不同几何参数下这种声子结构中Love波的色散特性。在实验中，我们采用反应离子刻蚀和电子束光刻技术来制作亚微米声子结构。测量结果与数值预测结果一致。这项研究的结果可以作为开发基于PC的Love wave设备的基础。

话题
声子晶体, 兰姆波, 数字间传感器, 波浪力学, 地震学, 弹性模量, 蚀刻, 薄膜, 电子束光刻
1
医学硕士。
 
库什瓦哈
,
第页。
 
哈列维
,
L。
 
多布任斯基
、和
B。
 
贾法里·鲁哈尼
,
物理学。修订稿。
 
71
,
2022
(
1993
).
https://doi.org/10.103/PhysRevLett.71.2022
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公共医学
 
2
A。
 
莫迪诺斯
,
N。
 
斯特凡努
,
I.E.公司。
 
Psarobas公司
、和
对。
 
亚诺帕斯
,
物理B
 
296
,
167
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2001
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https://doi.org/10.1016/S0921-4526（00）00795-X
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三。
Z.公司。
 
线路接口单元
,
C.T.公司。
 
陈
、和
第页。
 
盛
,
物理学。版本B
 
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).
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4
C、。
 
戈福
,
J。
 
桑切兹·德赫萨
,
A。
 
利维·叶亚蒂
,
酸碱度。
 
羔羊肉
,
A。
 
科利夫
,
J.O.公司。
 
瓦瑟
、和
B。
 
贾法里·鲁哈尼
,
物理学。修订稿。
 
88
,
225502
(
2002
).
https://doi.org/10.103/PhysRevLett.88.225502
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公共医学
 
5.
G.公司。
 
王
,
十、。
 
文
,
J。
 
文
,
L。
 
邵
、和
年。
 
线路接口单元
,
物理学。修订稿。
 
93
,
154302
(
2004
).
https://doi.org/10.103/PhysRevLett.93.154302
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公共医学
 
6
T-T。
 
吴
,
Z.-G公司。
 
黄
、和
美国。
 
林
,
物理学。版本B
 
69
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094301
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7
J.-C.公司。
 
徐
和
吨-吨。
 
吴
,
IEEE传输。超声波。Ferroelect。频率控制
 
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,
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https://doi.org/10.109/TUFFC.2006.1642515
谷歌学者
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8
T-T。
 
吴
,
中心-中心。
 
徐
、和
J.-H.公司。
 
太阳
,
申请。物理学。莱特。
 
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2006
).
https://doi.org/10.1063/1.2370382
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9
十、。
 
张
和
Z.公司。
 
线路接口单元
,
申请。物理学。莱特。
 
85
,
341
(
2004
).
https://doi.org/10.1063/1.1772854
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10
L。
 
冯
,
X-P。
 
线路接口单元
,
男-女。
 
卢
,
Y.-B.公司。
 
陈
,
Y.-F.公司。
 
陈
,
Y.-W.公司。
 
毛
,
J。
 
字
,
年-年。
 
朱
,
序号。
 
朱
、和
注-注。
 
明
,
物理学。修订稿。
 
96
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014301
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2006
).
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公共医学
 
11
A。
 
苏霍维奇
,
L。
 
京
、和
J.H。
 
第页
,
物理学。版本B
 
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2008
).
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12
年。
 
佩内克
,
B。
 
贾法里·鲁哈尼
,
J.O.公司。
 
瓦瑟
,
A。
 
科利夫
、和
私人助理。
 
戴米耶
,
物理学。版本E
 
69
,
046608
(
2004
).
https://doi.org/10.103/PhysRevE.69.046608
谷歌学者
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13
J.-H.公司。
 
太阳
和
吨-吨。
 
吴
,
物理学。版本B
 
74
,
174305
(
2006
).
https://doi.org/10.103/PhysRevB.74.174305
谷歌学者
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14
前-后。
 
萧
,
A。
 
科利夫
,
H。
 
穆布奇尔
,
A。
 
Choujaa公司
,
C.-C。
 
陈
、和
对。
 
荣誉
,
物理学。版本E
 
76
,
056601
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2007
).
https://doi.org/10.1103/PhysRevE.76.056601
谷歌学者
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15.
J.O.公司。
 
瓦瑟
,
私人助理。
 
戴米耶
,
B。
 
贾法里·鲁哈尼
,
年。
 
佩内克
、和
A.控制。
 
赫拉德基·赫尼翁
,
物理学。版本B
 
77
,
085415
(
2008
).
https://doi.org/10.103/PhysRevB.77.085415
谷歌学者
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16.
T-T。
 
吴
,
西-南。
 
王
,
J.-H.公司。
 
太阳
,
J.-C.公司。
 
徐
、和
年-年。
 
陈
,
申请。物理学。莱特。
 
94
,
101913
(
2009
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谷歌学者
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17
C.-Y.公司。
 
黄
,
J.-H.公司。
 
太阳
、和
T-T。
 
吴
,
申请。物理学。莱特。
 
97
,
031913
(
2010
).
https://doi.org/10.1063/1.3467145
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18
美国。
 
穆罕默德
,
答：A。
 
埃夫特哈尔
,
W.D.公司。
 
狩猎
、和
A。
 
阿迪比
,
申请。物理学。莱特。
 
94
,
051906
(
2009
).
https://doi.org/10.1063/1.3078284
谷歌学者
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19
美国。
 
本查班
,
A。
 
科利夫
,
J.-Y.公司。
 
劳赫
,
L。
 
罗伯特
、和
对。
 
荣誉
,
物理学。版本E
 
73
,
065601
（右）(
2006
).
https://doi.org/10.1103/PhysRevE.73.065601
谷歌学者
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20
美国。
 
本查班
,
O。
 
盖夫
,
G.公司。
 
乌利亚克
,
R。
 
Salut公司
,
年。
 
阿查维
、和
对。
 
荣誉
,
申请。物理学。莱特。
 
98
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171908
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2011
).
https://doi.org/10.1063/1.3583982
谷歌学者
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21
吨-吨。
 
吴
,
Z.-G公司。
 
黄
,
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济
、和
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吴
,
申请。物理学。莱特。
 
93
,
111902
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2008
).
https://doi.org/10.1063/1.2970992
谷歌学者
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22
年。
 
佩内克
,
B。
 
贾法里·鲁哈尼
,
H。
 
拉拉比
,
J.O.公司。
 
瓦瑟
、和
A.控制。
 
赫拉德基·赫尼翁
,
物理学。版本B
 
78
,
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谷歌学者
交叉参考
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23
T.-C.公司。
 
吴
,
T-T。
 
吴
、和
J.-C.公司。
 
徐
,
物理学。版本B
 
79
,
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谷歌学者
交叉参考
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24
年。
 
阿查维
,
A。
 
赫利夫
,
美国。
 
本查班
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L。
 
罗伯特
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对。
 
荣誉
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83
,
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).
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谷歌学者
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搜索ADS
 
25
Z.公司。
 
霍
和
医学学士。
 
阿苏尔
,
《物理学杂志》。D： 申请。物理。
 
42
,
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(
2009
).
https://doi.org/10.1088/0022-3727/42/8/085103
谷歌学者
交叉参考
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26
一、。
 
马尔凡提
,
A。
 
塔斯金
,
第页。
 
巴托里尼
,
B。
 
博内洛
、和
R。
 
托雷
,
J.机械。物理学。固体
 
59
,
2370
–
2381
(
2011
).
https://doi.org/10.1016/j.jmps.2011.07.010
谷歌学者
交叉参考
搜索ADS
 
27
D。
 
尤迪斯特拉
,
年。
 
佩内克
,
B。
 
贾法里·鲁哈尼
,
美国。
 
杜邦
、和
对。
 
荣誉
,
申请。物理学。莱特。
 
100
,
061912
(
2012
).
https://doi.org/10.1063/1.3684839
谷歌学者
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28
手术室。
 
比拉尔
和
M.I.公司。
 
侯赛因
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103
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(
2013
).
https://doi.org/10.1063/1.4820796
谷歌学者
交叉参考
搜索ADS
 
29
答：A。
 
马兹涅夫
和
A.克。
 
每
,
J.应用。物理。
 
106
,
113531
(
2009
).
https://doi.org/10.1063/1.3267290
谷歌学者
交叉参考
搜索ADS
 
30
A.L.公司。
 
舒瓦洛夫
,
答：A。
 
库琴科
,
机械工程师。
 
科尔托耶娃
、和
O。
 
蓬塞莱
,
波浪运动
 
50
,
809
–
820
(
2013
).
https://doi.org/10.1016/j.wavemoti.2013.02.05
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31
机械工程师。
 
科尔托耶娃
,
答：A。
 
库琴科
,
A.L.公司。
 
舒瓦洛夫
、和
O。
 
蓬塞莱
,
申请。物理学。莱特。
 
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32
C.克。
 
坎贝尔
,
移动和无线通信用声表面波器件
(
学术出版社
,
1996
)，第页。
49
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, 190.
谷歌学者
 
33
T-T。
 
吴
,
年-年。
 
陈
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G.-T.公司。
 
黄
、和
P.-Z.公司。
 
张
,
J.应用。物理。
 
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谷歌学者
交叉参考
搜索ADS
 
34
G.公司。
 
卡洛蒂
,
L。
 
水龙头
、和
M。
 
迪珀
,
固体薄膜
 
296
(
1
),
102
–
105
(
1997
).
https://doi.org/10.1016/S0040-6090(96)09346-7
谷歌学者
交叉参考
搜索ADS
 
35
英国。
 
桥本
,
通信建模与仿真中的声表面波器件
(
施普林格
,
2000
)，第页。
21
.
谷歌学者
交叉参考
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36.
T-T。
 
吴
,
L.-C.有限责任公司。
 
吴
、和
Z.-G公司。
 
黄
,
J.应用。物理。
 
97
(
9
),
094916
(
2005
).
https://doi.org/10.1063/1.1893209
谷歌学者
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©2014 AIP出版有限责任公司。
2014
AIP出版有限责任公司
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