非线性动力学的物理已经在宏观机械系统中进行了详细的研究，如被驱动的经典摆。到目前为止，有可能在纳米尺度上构建本征频率在几个100MHz量级的机械设备。在这项工作中，我们想介绍如何从硅-绝缘体晶圆中加工出这种纳米机械谐振器，以及如何在非线性状态下操作它们，以研究射频下的高阶机械混频。然后将非线性响应与n个第个-订单微扰理论和非微扰数值计算。

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2000
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