测得的力分辨率5.6×10−18 N个/赫兹在4.8 K的真空下，使用厚度仅为600Ω的单晶硅悬臂梁进行了演示。这个悬臂的弹簧常数是6.5×10−6 N/m（牛顿/米），或比典型的原子力显微镜悬臂小1000倍以上。悬臂制造包括在线尖端的集成，以便悬臂可以垂直于样品表面。此方向有助于抑制悬臂卡入，以便在小于100º的尖端取样距离下实现较高的力灵敏度。

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如果阻尼谐振子的损耗项表示为-γ（dx/dt）然后是术语2k/Qπf0式（3）中也等效于4Γ，且S公司F类1/2=（4ΓkB类T）1/2.
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T.D.Stowe、K.Yasumura、T.Kenny、K.Wago、D.Botkin和D.Rugar，固态传感器和执行器研讨会论文集（传感器研究基金会，1996年），第225-230页。
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©1997美国物理研究所。
1997
美国物理研究所
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