提出了一种新的原子力显微镜（AFM）检测方案，可获得导电和非导电层状材料的原子分辨率图像。该检测方案使用嵌入AFM悬臂梁中的压阻式应变传感器。悬臂梁采用标准硅微机械加工技术批量制造。悬臂梁的挠度直接由压阻式应变传感器的电阻测量，无需外部挠度传感元件。使用此悬臂，我们获得了0.1ºrms（有效值）10 Hz–1 kHz带宽的垂直分辨率。

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©1993美国物理研究所。
1993
美国物理研究所
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