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通过详细的结构和电学特性,分析了具有不同扩展缺陷密度的In0.53Ga0.47As p+n二极管。利用半绝缘InP或GaAs衬底上的晶格失配层,在金属-有机气相外延(MOVPE)生长过程中引入了缺陷。用高分辨率X射线衍射法测定了n型In0.53Ga0.47As层中的残余应变和铟含量,显示应变几乎为零,铟比为0.53。用深能级瞬态光谱表征了该层的深能级。在导带最小E-C以下0.17+/-0.03eV处的电子陷阱的平均值被赋予α60度错配位错的“局域化”状态;另一个平均活化能在E-C-0.17+/-0.01和0.39+/-0.04 eV之间的宽电子陷阱被确定为具有“带状”状态的穿脱位错段。当改变填充脉冲时间时,发现后者的指数前因子K-T有7个数量级的高变化,这可以解释为III-V材料中分裂位错核心中的类受主态和类施主态共存。此外,E-V+0.42+/-0.01和E-V+0.26+/-0.13eV处的两个空穴陷阱分别与Ga(In)空位(V-Ga/In(3-/2-))和60度β失配位错的双受主有关。最后,讨论了n型In0.53Ga0.47As的位错攀爬机制和反位错缺陷As-Ga/In的演化。
关键词
液位瞬态光谱法,分子束外延,FE验收水平,错位,INGAAS/GAAS异质结构,电气特性,电子状态,砷化镓,深层中心,美国公认会计准则

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Hsu,Po-Chun(Brent)等,“N型In0.53Ga0.47As中扩展缺陷的带状和局域状态”应用物理学杂志,第124卷,第16期,2018年,doi:10.1063/1.5046827。
亚太地区
Hsu,P.-C.(Brent),Simoen,E.,Merckling,C.,Eneman,G.,Mols,Y.,Alian,A.,…Heyns,M.(2018年)。n型In0.53Ga0.47As中扩展缺陷的带状和局域态。应用物理学杂志,124(16). https://doi.org/10.1063/1.5046827
芝加哥作者日期
徐、波春(布伦特)、埃迪·西蒙、克莱门特·默克林、吉尔特·埃内曼、伊夫·莫尔斯、阿里雷扎·阿利安、罗伯特·兰格、纳丁·科勒特和马克·海恩斯。2018.“N型In0.53Ga0.47As扩展缺陷的带状和局域状态”应用物理学杂志124 (16). https://doi.org/10.1063/1.5046827。
芝加哥作者日期(所有作者)
徐、波春(布伦特)、埃迪·西蒙、克莱门特·默克林、吉尔特·埃内曼、伊夫·莫尔斯、阿里雷扎·阿利安、罗伯特·兰格、纳丁·科勒特和马克·海恩斯。2018.“N型In0.53Ga0.47As扩展缺陷的带状和局域状态”应用物理学杂志124 (16). doi:10.1063/1.5046827。
温哥华
1
Hsu P-C(Brent)、Simoen E、Merckling C、Eneman G、Mols Y、Alian A等。n型In0.53Ga0.47As中扩展缺陷的带状和局部状态。应用物理学杂志。2018;124(16).
电气与电子工程师协会
[1]
P.-C.(布伦特)Hsu等。,“n型In0.53Ga0.47As中扩展缺陷的带状和局域状态”应用物理学杂志,第124卷,第16期,2018年。
@第{8579662条,文摘={{In0.53Ga0.47As p+n二极管具有不同密度的扩展缺陷,通过详细的结构和电学表征对其进行了分析通过在半绝缘InP或GaAs衬底上使用晶格失配层来生长。用高分辨率X射线衍射法测定了n型In0.53Ga0.47As层中的残余应变和铟含量,显示应变几乎为零,铟比为0.53。用深能级瞬态光谱表征了该层的深能级。低于导带最小E-C 0.17+/-0.03 eV的电子陷阱平均值被指定为α60度失配位错的“局域”状态;另一个平均活化能在E-C-0.17+/-0.01和0.39+/-0.04 eV之间的宽电子陷阱被确定为具有“带状”状态的穿脱位错段。当改变填充脉冲时间时,发现后者的指数前因子K-T有7个数量级的高变化,这可以解释为III-V材料中分裂位错核心中的类受主态和类施主态共存。此外,E-V+0.42+/-0.01和E-V+0.26+/-0.13eV处的两个空穴陷阱分别与Ga(In)空位(V-Ga/In(3-/2-))和60度β失配位错的双受主有关。最后,讨论了n型In0.53Ga0.47As.}}、,articleno={{165707}},作者={{Hsu、Po-Chun(Brent)和Simoen、Eddy和Merckling、Clement和Eneman、Geert和Mols、Yves和Alian、AliReza和Langer、Robert和Collert、Nadine和Heyns、Marc}},issn={{0021-8979}},journal={{应用物理学杂志}},keywords={{LEVEL瞬态光谱、分子束外延、FE受体能级、错配错位、INGAAS/GAAS异质结构、电特性、电子态、镓砷化物、深中心、GAAS}},语言={{eng}},数字={{16}},页面={{13}},title={{n型In0.53Ga0.47As}}中扩展缺陷的带状和局域态,url={{http://doi.org/10.1063/1.5046827}},体积={{124}},年份={2018年},}
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