{“id”：“https://openalex.org/W3035631098“，”doi“：”https://doi.org/10.109/tcad.2020.3001380“，”title“：“采用基于SQP的优化方法的新型统一全芯片CMP模型感知虚拟填充插入框架”，”display_name“：采用基于SQR的优化方法实现新型统一全片CMP模型认知虚拟填充插入框架”，”publication_year“：2021，”publitation_date“：”2021-03-01“，”ids“：{”openalex“：”https://openalex.org/W3035631098“，”doi“：”https://doi.org/10.109/tcad.2020.3001380“，”mag“：”3035631098“}，”language“：”en“，”primary_location“：{”is_oa“：true，”landing_page_url“：”https://doi.org/10.109/tcad.2020.3001380“，”pdf_url“：空，”源“：{”id“：”https://openalex.org/S100835903“，”display_name“：”集成电路和系统计算机辅助设计IEEE事务“，”issn_l“：”0278-0070“，”isn“：[”0278.0070“，“1937-4151”]“is_oa”：false，“is_in_doaj”：false，“is_core”：true，“host_organization”：“https://openalex.org/P4310319808“，”“host_organization_name”：“电气与电子工程师学会”，“host_ordanization_lineage”：[“https://openalex.org/P4310318808“]，”host_organization_lineage_names“：[”电气与电子工程师协会“]，“type”：“journal”}，“license”：“publisher-specific-oa”，“licence_id”：“https://openalex.org/licenses/publisher-specific-oa“，”version“：”acceptedVersion“，”is_accepted“：true，”is_published“：false}，”type“：”article“，”type_crossref“：“journal-article”，”indexed_in“：[”crossref“]，”open_access“：{”is_oa“：true，”oa_status“：”hybrid“，”oa_url“：”https://doi.org/10.109/tcad.2020.3001380“，”any_repository_has_fulltext“：false}，”authorships“：[{”author_position“：”第一“，”作者“：{”id“：”https://openalex.org/A5079122846“，”display_name“：”蔡俊哲“，”orcid“：”https://orcid.org/0000-0002-4264-1856}，“机构”：[{“id”：https://openalex.org/I4210132426“，”display_name“：”上海复旦微电子（中国）“，”ror“：”https://ror.org/02vfj3j86“，”country_code“：”CN“，”type“：“company”，”lineage“：[”https://openalex.org/I4210132426“]}，{”id“：”https://openalex.org/I24943067“，”display_name“：”复旦大学“，”ror“：”https://ror.org/013q1eq08“，”country_code“：”CN“，”type“：“教育”，”世系“：[”https://openalex.org/I24943067“]}]，”国家“：[”CN“]，”is_corresponding“：false，”raw_author_name“：”蔡俊哲“，”raw _ afiliation_strings“：[“中国上海复旦大学微电子学院”]，”affiliations“：[{”raw_ afiliation _string“：”中国上海复丹大学微电子学校“，”institution_ids“：[https://openalex.org/I4210132426","https://openalex.org/I24943067“]}]}，{”author_position“：”middle“，”author“：{”id“：”https://openalex.org/A5037328458“，”display_name“：”昌浩燕“，”兽人“：”https://orcid.org/0000-0002-8936-3945}，“机构”：[{“id”：https://openalex.org/I4210132426“，”display_name“：”上海复旦微电子（中国）“，”ror“：”https://ror.org/02vfj3j86“，”country_code“：”CN“，”type“：”company“，”沿袭“：[”https://openalex.org/I4210132426“]}，{”id“：”https://openalex.org/I24943067“，”display_name“：”复旦大学“，”ror“：”https://ror.org/013q1eq08“，”country_code“：”CN“，”type“：“教育”，”世系“：[”https://openalex.org/I24943067“]}]，”国家“：[”CN“]，”is_corresponding“：false，”raw_author_name“：”Changhao Yan“，”raw _ afiliation_strings“：[“中国上海复旦大学微电子学院”]，”affiliations“：[{”raw _affiliation_strong“：”中国上海复丹大学微电子学校“，”institution_ids“：[https://openalex.org/I4210132426","https://openalex.org/I24943067“]}]}，{”author_position“：”middle“，”author“：{”id“：”https://openalex.org/A5027427111“，”display_name“：”Yudong Tao“，”orcid“：”https://orcid.org/0000-0002-0116-3878}，“机构”：[{“id”：https://openalex.org/I4210132426“，”display_name“：”上海复旦微电子（中国）“，”ror“：”https://ror.org/02vfj3j86“，”country_code“：”CN“，”type“：“company”，”lineage“：[”https://openalex.org/I4210132426“]}，{”id“：”https://openalex.org/I24943067“，”display_name“：”复旦大学“，”ror“：”https://ror.org/013q1eq08“，”country_code“：”CN“，”type“：“教育”，”世系“：[”https://openalex.org/I24943067“]}]，”国家“：[”CN“]，”is_corresponding“：false，”raw_author_name“：”Yudong Tao“，”raw _ afiliation_strings“：[“中国上海复旦大学微电子学院”]，”affiliations“：[{”raw_ afiliation _string“：”中国上海复丹大学微电子学校“，”institution_ids“：[https://openalex.org/I4210132426","https://openalex.org/I24943067“]}]}，{”author_position“：”middle“，”author“：{”id“：”https://openalex.org/A5000933188“，”display_name“：”Yibo Lin“，”orcid“：”https://orcid.org/0000-0002-0977-2774}，“机构”：[{“id”：https://openalex.org/I20231570“，”display_name“：”北京大学“，”ror“：”https://ror.org/02v51f717“，”country_code“：”CN“，”type“：“教育”，”世系“：[”https://openalex.org/I20231570“]}]，”国家“：[”CN“]，”is_corresponding“：false，”raw_author_name“：”Yibo Lin“，”raw_affiliation_strings“：[“中国北京大学节能计算与应用中心”]，”affiliations“：[{”raw_affiliation_string“：”北京大学节能计算机与应用中心，中国北京，“机构ID“：[”https://openalex.org/I20231570“]}]}，{”author_position“：”middle“，”author“：{”id“：”https://openalex.org/A5040094010“，”display_name“：”盛国旺“，”兽人“：”https://orcid.org/0000-0002-5975-0397}，“机构”：[{“id”：https://openalex.org/I102149020“，”display_name“：”夏洛特北卡罗来纳大学“，”ror“：”https://ror.org/04dawnj30“，”country_code“：”US“，”type“：“教育”，”世系“：[”https://openalex.org/I102149020“]}]，”国家“：[”美国“]，”is_corresponding“：false，”raw_author_name“：”Sheng-Guo Wang“，”raw _ afiliation_strings“：[“北卡罗来纳大学夏洛特分校工程技术系，北卡罗莱纳州夏洛特”]，”affiliations“：[{”raw _affiliation_string“：”北卡罗来纳大学夏洛特分校工程技术系，北卡罗来那州夏洛特”，“institution_ids”：[“https://openalex.org/I102149020“]}]}，{”author_position“：”middle“，”author“：{”id“：”https://openalex.org/A5011883763“，”display_name“：”David Z.Pan“，”orcid“：”https://orcid.org/0000-0002-5705-2501}，“机构”：[{“id”：https://openalex.org/I86519309“，”display_name“：”奥斯汀德克萨斯大学“，”ror“：”https://ror.org/00hj54h04“，”country_code“：”US“，”type“：“教育”，”世系“：[”https://openalex.org/I86519309“]}]，”国家“：[”美国“]，”is_corresponding“：false，”raw_author_name“：”David Z.Pan“，”raw _ afiliation_strings“：[“德克萨斯州奥斯汀市德克萨斯大学电气与计算机工程系”]，”affiliations“：[{”raw _affiliation_string“：”美国德克萨斯州奥斯汀市德克萨斯大学电气与计算机工程系“，”institution_ids“：[”https://openalex.org/I86519309“]}]}，{”author_position“：”last“，”author“：{”id“：”https://openalex.org/A5064213921“，”display_name“：”曾轩“，”orcid“：”https://orcid.org/0000-0002-8097-4053}，“机构”：[{“id”：https://openalex.org/I4210132426“，”display_name“：”上海复旦微电子（中国）“，”ror“：”https://ror.org/02vfj3j86“，”country_code“：”CN“，”type“：“company”，”lineage“：[”https://openalex.org/I4210132426“]}，{”id“：”https://openalex.org/I24943067“，”display_name“：”复旦大学“，”ror“：”https://ror.org/013q1eq08“，”country_code“：”CN“，”type“：“教育”，”世系“：[”https://openalex.org/I24943067“]}]，”国家“：[”CN“]，”is_corresponding“：false，”raw_author_name“：”Xuan Zeng“，”rau_affiliation_strings“：[“中国上海复旦大学微电子学院”]，”affiliations“：[{”raw_affiliation_string“：”中国上海复丹大学微电子学校“，”institution_ids“：[https://openalex.org/I4210132426","https://openalex.org/I24943067“]}]}]，”countries_distinct_count“：2，”institutions_disting_count”：5，”corresponding_author_ids“：[]，”corresponding_institution_ids”：[]、“apc_list”：null，”apc_payd“：null、”fwci“：0.485、“has_fulltext”：false，”cited_by_count？：5，“cited_by_percentile_year”：{“min”：81，”max“：83}，”biblio“：{”volume“：”40“，”问题“：”3“，”first_page“：”603“，“last_page”：“607”}，“is_retracted“：false，”is_paratext“：fase，”primary_topic“：{”id“：”https://openalex.org/T11301“，”“display_name”：“微电子制造中的化学机械抛光”，“score”：1.0，“subfield”：{“id”：“https://openalex.org/subfields/2204“，”display_name“：”生物医学工程“}，”字段“：{”id“：”https://openalex.org/fields/22“，”display_name“：”Engineering“}，”domain“：{”id“：”https://openalex.org/domains/3“，”display_name“：”物理科学“}}，”主题“：[{”id“：”https://openalex.org/T11301“，”“display_name”：“微电子制造中的化学机械抛光”，“score”：1.0，“subfield”：{“id”：“https://openalex.org/subfields/2204“，”display_name“：”生物医学工程“}，”字段“：{”id“：”https://openalex.org/fields/22“，”display_name“：”Engineering“}，”domain“：{”id“：”https://openalex.org/domains/3“，”display_name“：”物理科学“}}，{”id“：”https://openalex.org/T12224“，”“display_name”：“纳米版画技术”，“score”：0.9682，“subfield”：{“id”：“https://openalex.org/subfields/2204“，”display_name“：”生物医学工程“}，”字段“：{”id“：”https://openalex.org/fields/22“，”display_name“：”Engineering“}，”domain“：{”id“：”https://openalex.org/domains/3“，”display_name“：”物理科学“}}，{”id“：”https://openalex.org/T10188“，”“display_name”：“加工操作的高级监控”，“score”：0.9676，“subfield”：{“id”：“https://openalex.org/subfields/2210“，”display_name“：”机械工程“}，”字段“：{”id“：”https://openalex.org/fields/22“，”display_name“：”Engineering“}，”domain“：{”id“：”https://openalex.org/domains/3“，”display_name“：”物理科学“}}]，”关键词“：[{”id“：”https://openalex.org/keywords/chemical-mechanical-planalization网站“，”display_name“：”化学机械平面化“，”score“：0.549184}]，”concepts“：[{”id“：”https://openalex.org/C68260962，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q7200967“，”display_name“：”平面度测试“，”level“：2，”score“：0.7049649}，{”id“：”https://openalex.org/C16505293，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q1074500“，”display_name“：”Chip“，”level“：2，”score“：0.67537004｝，｛”id“：”https://openalex.org/C180088628，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q1069404“，”display_name“：”化学机械平面化“，”level“：3，”score“：0.62364125}，{”id“：”https://openalex.org/C2778770139，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q1966904“，”display_name“：”Solver“，”level“：2，”score“：0.59737647}，{”id“：”https://openalex.org/C198927703，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q4373881“，”display_name“：”序列二次规划“，”level“：3，”score“：0.5599493}，{”id“：”https://openalex.org/C41008148，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q21198“，”display_name“：”计算机科学“，”level“：0，”score“：0.5370333}，{”id“：”https://openalex.org/C173801870，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q201413（网址：https://www.wikidata.org/wiki/Q201413）“，”display_name“：”启发式“，”level“：2，”score“：0.516193}，{”id“：”https://openalex.org/C129844170，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q41299“，”display_name“：”二次方程“，”level“：2，”score“：0.42693466}，{”id“：”https://openalex.org/C126255220，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q141495“，”display_name“：”数学优化“，”level“：1，”score“：0.40182513}，{”id“：”https://openalex.org/C11413529，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q8366“，”display_name“：”Algorithm“，”level“：1，”score“：0.39391816}，{”id“：”https://openalex.org/C138113353，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q611639“，”display_name“：”Polishing“，”level“：2，”score“：0.38769168}，{”id“：”https://openalex.org/C81845259，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q290117“，”display_name“：”二次编程“，”level“：2，”score“：0.26519024}，{”id“：”https://openalex.org/C33923547，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q395“，”display_name“：”数学“，”等级“：0，”分数“：0.24095735}，{”id“：”https://openalex.org/C127413603，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q11023“，”display_name“：”Engineering“，”level“：0，”score“：0.20868528}，{”id“：”https://openalex.org/C78519656，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q101333“，”display_name“：”机械工程“，”level“：1，”score“：0.2071029｝，｛”id“：”https://openalex.org/C154945302，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q11660“，”display_name“：”人工智能“，”level“：1，”score“：0.15385422}，{”id“：”https://openalex.org/C76155785，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q418“，”display_name“：”Telecommunications“，”level“：1，”score“：0.0}，{”id“：”https://openalex.org/C2524010，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q8087“，”display_name“：”Geometry“，”level“：1，”score“：0.0｝，｛”id“：”https://openalex.org/C114614502，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q76592“，”display_name“：”组合数学“，”level“：1，”score“：0.0}]，”mesh“：[]，”locations_count“：1.”locations“：[{”is_oa“：true，”landing_page_url“：”https://doi.org/10.109/tcad.2020.3001380“，”pdf_url“：空，”源“：{”id“：”https://openalex.org/S100835903“，”display_name“：”集成电路和系统计算机辅助设计IEEE事务“，”issn_l“：”0278-0070“，”isn“：[”0278.0070“，“1937-4151”]“is_oa”：false，“is_in_doaj”：false，“is_core”：true，“host_organization”：“https://openalex.org/P4310318808“，”“host_organization_name”：“电气与电子工程师学会”，“host_ordanization_lineage”：[“https://openalex.org/P4310318808“]，”host_organization_lineage_names“：[”电气与电子工程师协会“]，“type”：“journal”}，“license”：“publisher-specific-oa”，“licence_id”：“https://openalex.org/licenses/publisher-specific-oa“，”version“：”acceptedVersion“，”is_accepted“：true，”is_published“：false}]，”best_oa_location“：{”is_oa“：true，”landing_page_url“：”https://doi.org/10.1109/tcad.2020.3001380“，”pdf_url“：空，”源“：{”id“：”https://openalex.org/S100835903“，”display_name“：”集成电路和系统计算机辅助设计IEEE事务“，”issn_l“：”0278-0070“，”isn“：[”0278.0070“，“1937-4151”]“is_oa”：false，“is_in_doaj”：false，“is_core”：true，“host_organization”：“https://openalex.org/P4310318808“，”“host_organization_name”：“电气与电子工程师学会”，“host_ordanization_lineage”：[“https://openalex.org/P4310318808“]，”host_organization_lineage_names“：[”电气与电子工程师协会“]，“type”：“journal”}，“license”：“publisher-specific-oa”，“licence_id”：“https://openalex.org/licenses/publisher-specific-oa“，”version“：”acceptedVersion“，”is_accepted“：true，”is_published“：false｝，”sustainable_development_goals“：[]，”grants“：[｛”funder“：”https://openalex.org/F4320321001“，”“funder_display_name”：“国家自然科学基金”，“award_id”：“61929102”}，{“funder”：“https://openalex.org/F4320321001“，”“funder_display_name”：“国家自然科学基金”，“award_id”：“61774045”}，{“funder”：“https://openalex.org/F4320321001“，”“funder_display_name”：“国家自然科学基金”，“award_id”：“61974032”}，{“funder”：“https://openalex.org/F4320321001“，”“funder_display_name”：“中国国家自然科学基金”，“award_id”：“61674042”}]，“数据集”：[]，“版本”：[]，“referenced_works_count”：21，“referrenced_works”：[”https://openalex.org/W1560543304","https://openalex.org/W1942085442","https://openalex.org/W1972207333","https://openalex.org/W2001368028","https://openalex.org/W2005345785","https://openalex.org/W2024876042","https://openalex.org/W2067035452","https://openalex.org/W2089361329","https://openalex.org/W2127376190","https://openalex.org/W2135501127","https://openalex.org/W2138831691","https://openalex.org/W2142782342网址","https://openalex.org/W2144694699","https://openalex.org/W2149416133","https://openalex.org/W2150360905","https://openalex.org/W2538782887","https://openalex.org/W2564300466","https://openalex.org/W2945560756","https://openalex.org/W2997170843","https://openalex.org/W3012976456","https://openalex.org/W4255503355“]，”related_works“：[”https://openalex.org/W74903192","https://openalex.org/W2982185603","https://openalex.org/W2489206082","https://openalex.org/W2468495246","https://openalex.org/W2378882722","https://openalex.org/W2350003910","https://openalex.org/W2154293465","https://openalex.org/W2130148791","https://openalex.org/W1983603153网址","https://openalex.org/W1495339469“]，”ngrams_url“：”https://api.openalex.org/works/W3035631098/ngrams“，”“abstract_inverted_index”：{“Dummy”：[0]，“filling”：[1,27,47]，“is”：[2,28,49107134168]，“wide”：[3]，“applied”：[4]，“to”：[5137]，“significate”：[6]，“improve”：[7]，“the”：[8,14,65,78,92111139142147155165171]，“planarity”：[9140]，“of”：[10,25,43,53,67,75141164175]，“topological”：[11]，“patterns”：[12]，“for”：[13]，“chemical”：[15]，“机械“：[16,55]，“抛光”：[17,56]，“工艺”：[18]，“in”：[19,61]，“VLSI”：[20]，“制造”。“：[21]，”The“：[22162]，”main“：[23]，”challenge“：[24]，”dummy“：[26,46102]，”balancing“：[29]，”multiple“：[30112]，”objectives，“：[31]，”such“：[32]，”as“：[33,94]，”fill“：[34103]，”amounts“：[35]，”planarity“：[36]，”spirative“：[37]，”capacity“：[38]，”etc.“：[39]，”An“：[40]，”significate“：[41]，”缺点“：[42]，”传统“：[44]，”基于规则“：[45179]，”方法“：[48]，”模式“：[50,73]，”密度“：[51]，”代替“：[52]，”后化学“：[54]，”（CMP）“：[57]，”拓扑图“：[58]，”存在“：[59]，”包含“：[60]，”优化“：[62105118]，”目标。“：[63]，”虽然“：[64]，”质量“：[66176]，”后CMP“：[68]，”地形“：[69]，”强烈“：[70]，”依赖于“：[71]，”基于“：[72]，”特征“：[74]，”布局，“：[76]，”特别是“：[77]，”密度“：[79,95]，”均匀性“：[80]，”然而，“：+81]，”实验“：[82]，”结果“：[83]，”显示“：[84]，”那“：[85]，”“芯片”：[86143]，“表面”：[87]，“变体”：[88]，“是”：[89123]，“不是“：[90]，”完全“：[91]，”相同“：[93]，”变化。“：[96]，”In“：[97]，”this“：[98128]，”article“：[99]，”a“：[100130]，”unified“：[101]，”insertion“：[104]，”framework“：[106]，”proposed“，”：[108]，“integrated”：[109136]，“with”：[110151170178]，“starting”：+113]，“points-sequential”：[114]，“quadratic”：[115]，“programming”：[116]，“（MSP-SQP）”：[117]，“solver”：[119]，“where”：[120]，“all”：[121]，“objectives”：[122]，“考虑“：[124]，”不带“：[125]，”近似值。“：[126]，”内部“：[127]，”框架“：[129]，”全芯片“：[131]，”CMP“：[132]，”模拟器“：[133]，”第一个“：[135]，”评估“：[138]，”表面。“：[144]，”By“：[145]，”selecting“：[146]，”initial“：[148]，”points“：[149]，”smartly“：[150]，”启发式“：[152]，”priorient“：[153]，”knowledge“：[154]，”proposed“：[156166]，”method“：[157]，”can“：[158]，”be“：[159]，”effectively“：%160]，”accelerated“。“：[161]，”有效性“：[163]，”算法“：[167]，”验证“：[169]，”平均“：[172]，”25.8%“：[173]，”改进“：[174]，”比较“：[177]，”方法。“：[180]}，”cited_by_api_url“：”https://api.openalex.org/works？filter=cites:W3035631098“，”counts_by_year“：[{”年份“：2024，”cited_by_count“：1}，{”年“：2023，”ciped_by_cunt“：3}，”{“年份”：2021，“cited_by_count”：1}]，”更新日期“：”2024-07-22T18:01:40.324780“，”创建日期“：“2020-06-19”}