{“id”：“https://openalex.org/W4308273741“，”doi“：”https://doi.org/10.109/icicdt56182.2022.9933131“，”title“：“用于高级逻辑缩放的晶体管体系结构和设备连接创新”，”display_name“：”用于高级逻辑扩展的晶体管体系架构和设备连接的创新“，”publication_year“：2022，”publiation_date“：”2022-09-21“，”ids“：{”openalex“：”https://openalex.org/W4308273741“，”doi“：”https://doi.org/10.109/icicdt56182.2022.9933131“}，”language“：”en“，”primary_location“：{”is_oa“：false，”landing_page_url“：”https://doi.org/10.109/icicdt56182.2022.9933131“，”pdf_url“：null，”source“：null，”license“：null'，”licence_id“：null，”version“：nuller，”is_accepted“：false，”is_published“：false}，”type“：”article“，”type_crossref“：“procesdings-article”，”indexed_in“：[”crossref“]，”open_access“：{”is_oa“：false，”oa_status“：”closed“，”oa_url”：null“，”any_repository_has_fulltext“：false}”，”authorships“：[{”author_position“：”first“，”作者“：{”id“：”https://openalex.org/A5081272792“，”display_name“：”A.Veloso“，”orcid“：”https://orcid.org/0000-0001-7546-0261“｝，”机构“：[｛”id“：”https://openalex.org/I4210114974“，”display_name“：”IMEC“，”ror“：”https://ror.org/02kcbn207“，”“country_code”“：”BE“，”type“：”非营利性“，”seriance“：[”https://openalex.org/I4210114974“]}]，”国家“：[”BE“]，”is_corresponding“：false，”raw_author_name“：”A.Veloso“，”raw _ afiliation_strings“：[“Imec，Leuven，Belgium，3001”]，”affiliations“：[{”raw_ afiliation _string“：”Imec、Leuvens、Belgiumi，3001“，”institution_ids“：]”https://openalex.org/I4210114974“]}]}，{”author_position“：”middle“，”author“：{”id“：”https://openalex.org/A5075183384“，”display_name“：”Geert Eneman“，”orcid“：”https://orcid.org/0000-0002-5849-3384“｝，”机构“：[｛”id“：”https://openalex.org/I4210114974“，”display_name“：”IMEC“，”ror“：”https://ror.org/02kcbn207“，”“country_code”“：”BE“，”type“：”非营利性“，”seriance“：[”https://openalex.org/I4210114974“]}]，”国家“：[”BE“]，”is_corresponding“：false，”raw_author_name“：”G.Eneman“，”raw _ afiliation_strings“：[“Imec，Leuven，Belgium，3001”]，”afliations“：[{”raw _affiliation_string“：”Imechttps://openalex.org/I4210114974“]}]}，{”author_position“：”middle“，”author“：{”id“：”https://openalex.org/A5056543688“，”display_name“：”A.De Keersgieter“，”orcid“：”https://orcid.org/0000-0002-5527-8582“｝，”机构“：[｛”id“：”https://openalex.org/I4210114974“，”display_name“：”IMEC“，”ror“：”https://ror.org/02kcbn207“，”“country_code”“：”BE“，”type“：”非营利性“，”seriance“：[”https://openalex.org/I4210114974“]}]，”国家“：[”BE“]，”is_corresponding“：false，”raw_author_name“：”A.De Keersgieter“，”raw _affiliation_strings“：[“Imec，Leuven，Belgium，3001”]，”affiliations“：[{”raw _affiliation_string“：”Imec、Leuven.，Beljium，3001.“，”institution_ids“：[https://openalex.org/I4210114974“]}]}，{”author_position“：”middle“，”author“：{”id“：”https://openalex.org/A5053724730“，”display_name“：”Paola Favia“，”orcid“：”https://orcid.org/0000-0002-1019-3497“｝，”机构“：[｛”id“：”https://openalex.org/I4210114974“，”display_name“：”IMEC“，”ror“：”https://ror.org/02kcbn207“，”“country_code”“：”BE“，”type“：”非营利性“，”seriance“：[”https://openalex.org/I4210114974“]}]，”国家“：[”BE“]，”is_corresponding“：false，”raw_author_name“：”P.Favia“，”raw _affiliation_strings“：[“Imec，Leuven，Belgium，3001”]，”affiliations“：[{”raw _affiliation_string“：”Imec、Leuven's，Beljium，3001.“，”institution_ids“：[https://openalex.org/I4210114974“]}]}，{”author_position“：”middle“，”author“：{”id“：”https://openalex.org/A5035980017“，”display_name“：”Andriy Hikavyy“，”orcid“：”https://orcid.org/0000-0002-8201-075X“｝，”机构“：[｛”id“：”https://openalex.org/I4210114974“，”display_name“：”IMEC“，”ror“：”https://ror.org/02kcbn207“，”“country_code”“：”BE“，”type“：”非营利性“，”seriance“：[”https://openalex.org/I4210114974“]}]，”国家“：[”BE“]，”is_corresponding“：false，”raw_author_name“：”A.Hikavyy“，”raw _ afiliation_strings“：[“Imec，Leuven，Belgium，3001”]，”affiliations“：[{”raw_ afiliation _string“：”Imec，Luuven（比利时），3001“，”institution_ids“：]”https://openalex.org/I4210114974“]}]}，{”author_position“：”middle“，”author“：{”id“：”https://openalex.org/A5102796393“，”display_name“：”陈荣美“，”兽人“：”https://orcid.org/0000-0003-1205-0585“｝，”机构“：[｛”id“：”https://openalex.org/I4210114974“，”display_name“：”IMEC“，”ror“：”https://ror.org/02kcbn207“，”“country_code”“：”BE“，”type“：”非营利性“，”seriance“：[”https://openalex.org/I4210114974“]}]，”国家“：[”BE“]，”is_corresponding“：false，”raw_author_name“：”R.Chen“，”raw _affiliation_strings“：[“Imec，Leuven，Belgium，3001”]，“affiliations”：[{“raw_affiliation _string”：“Imec.，Leuvin，Belegium，300 1”，“institution_ids”：[“https://openalex.org/I4210114974“]}]}，{”author_position“：”middle“，”author“：{”id“：”https://openalex.org/A5053182757“，”display_name“：”A.Jourdain“，”orcid“：null｝，”institutions“：[｛”id“：”https://openalex.org/I4210114974“，”display_name“：”IMEC“，”ror“：”https://ror.org/02kcbn207“，”“country_code”“：”BE“，”type“：”非营利性“，”seriance“：[”https://openalex.org/I4210114974“]}]，”国家“：[”BE“]，”is_corresponding“：false，”raw_author_name“：”A.Jourdain“，”raw_affiliation_strings“：[“Imec，Leuven，Belgium，3001”]，”affiliations“：[{”raw_affiliation_string“：”Imec、Leuven.、Belgiumi，3001“，”institution_ids“：]”https://openalex.org/I4210114974“]}]}，{”author_position“：”last“，”author“：{”id“：”https://openalex.org/A5065113949“，”display_name“：”Naoto Horiguchi“，”orcid“：”https://orcid.org/0000-0001-5490-0416“｝，”机构“：[｛”id“：”https://openalex.org/I4210114974“，”display_name“：”IMEC“，”ror“：”https://ror.org/02kcbn207“，”“country_code”“：”BE“，”type“：”非营利性“，”seriance“：[”https://openalex.org/I4210114974“]}]，”国家“：[”BE“]，”is_corresponding“：false，”raw_author_name“：”N.Horiguchi“，”raw_affiliation_strings“：[“Imec，Leuven，Belgium，3001”]，”affiliations“：[{”raw_affiliation_string“：”Imec、Leuven.，Beljium，3001.“institution_ids”：[“https://openalex.org/I4210114974“]}]}]，”countries_distinct_count“：1，”institutions_disting_count”：1，“corresponding_author_ids”：[]，”correspounding_institution_ids“：[]、”apc_list“：null，”apc_payed“：null，”fwci“：0.0，”has_fulltext“：false，”cited_by_count：{“卷”：空，“问题”：空first_page“：null，”last_page“：null}，”is_retracted“：false，”is_paratext“：fase，”primary_topic“：{”id“：”https://openalex.org/T10558“，”display_name“：”纳米电子学和晶体管“，”score“：0.9998，”subfield“：{”id“：”https://openalex.org/subfields/2208“，”display_name“：”电气与电子工程“}，”字段“：{”id“：”https://openalex.org/fields/22“，”display_name“：”Engineering“}，”domain“：{”id“：”https://openalex.org/domains/3“，”display_name“：”物理科学“}}，”主题“：[{”id“：”https://openalex.org/T10558“，”display_name“：”纳米电子学和晶体管“，”score“：0.9998，”subfield“：{”id“：”https://openalex.org/subfields/2208“，”display_name“：”电气与电子工程“}，”字段“：{”id“：”https://openalex.org/fields/22“，”display_name“：”Engineering“}，”domain“：{”id“：”https://openalex.org/domains/3“，”display_name“：”物理科学“}}，{”id“：”https://openalex.org/T10472“，”“display_name”：“原子层沉积技术”，“score”：0.9995，“subfield”：{“id”：“https://openalex.org/subfields/2208“，”display_name“：”电气与电子工程“}，”字段“：{”id“：”https://openalex.org/fields/22“，”display_name“：”Engineering“}，”domain“：{”id“：”https://openalex.org/domains/3“，”display_name“：”物理科学“}}，{”id“：”https://openalex.org/T10361“，”display_name“：”电力电子技术“，”score“：0.9977，”subfield“：{”id“：”https://openalex.org/subfields/2208“，”display_name“：”电气与电子工程“}，”字段“：{”id“：”https://openalex.org/fields/22“，”display_name“：”Engineering“}，”domain“：{”id“：”https://openalex.org/domains/3“，”display_name“：”物理科学“}}]，”关键词“：[{”id“：”https://openalex.org/keywords/parasitic-extraction网站“，”display_name“：”寄生提取“，”score“：0.83932966}，{”id“：”https://openalex.org/keywords/hig-performance-nanoscale-devices（https://openalex.org/关键词/高性能-nanoscape-devices/设备）“，”display_name“：”高性能纳米器件“，”score“：0.589817}，{”id“：”https://openalex.org/keywords/cmos-scaling（https://openalex.org/keywords/cmos-scaling）“，”display_name“：”CMOS缩放“，”score“：0.514569}，{”id“：”https://openalex.org/keywords/nanowire-transistors网站“，”display_name“：”纳米线晶体管“，”score“：0.509254}]，”concepts“：[{”id“：”https://openalex.org/C159818811，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q7135947“，”display_name“：”寄生提取“，”level“：2，”score“：0.83932966}，{”id“：”https://openalex.org/C172385210，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q5339“，”display_name“：”晶体管“，”电平“：3，”分数“：0.5972576}，{”id“：”https://openalex.org/C41008148，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q21198“，”display_name“：”计算机科学“，”level“：0，”score“：0.47057384}，{”id“：”https://openalex.org/C99844830，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q102441924“，”display_name“：”缩放“，”级别“：2，”分数“：0.4580163}，{”id“：”https://openalex.org/C24326235，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q126095“，”display_name“：”电子工程“，”level“：1，”score“：0.4560227}，{”id“：”https://openalex.org/C134146338，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q1815901“，”display_name“：”Electronic circuit“，”level“：2，”score“：0.43788946｝，｛”id“：”https://openalex.org/C160671074，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q267131“，”display_name“：”Wafer“，”level“：2，”score“：0.4372757｝，｛”id“：”https://openalex.org/C13117901，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q170451“，”display_name“：”逻辑门“，”level“：2，”score“：0.42267382}，{”id“：”https://openalex.org/C192562407，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q228736“，”display_name“：”材料科学“，”level“：0，”score“：0.38762176}，{”id“：”https://openalex.org/C119599485，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q43035“，”display_name“：”电气工程“，”level“：1，”score“：0.3449762}，{”id“：”https://openalex.org/C127413603，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q11023“，”display_name“：”Engineering“，”level“：0，”score“：0.3272466}，{”id“：”https://openalex.org/C165801399，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q25428“，”display_name“：”Voltage“，”level“：2，”score“：0.14851013}，{”id“：”https://openalex.org/C2524010，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q8087“，”display_name“：”Geometry“，”level“：1，”score“：0.0}，{”id“：”https://openalex.org/C33923547，“wikidata”：https://www.wikidata.org/wiki/Q395“，”display_name“：”Mathematics“，”level“：0，”score“：0.0}]，”mesh“：[]，”locations_count“：1，”location“：[{”is_oa“：false，”landing_page_url“：”https://doi.org/10.109/icicdt56182.2022.9933131“，”pdf_url“：null，”source“：null，”license“：null:”license_id“：null，”version“：nuller，”is_accepted“：false，”is_published“：false}]，”best_oa_location“：nul，”sustainable_development_goals“：[]，”grants“：[]，”datasets“：]，”versions“：[]:”，“referenced_works_count”：2，“referrenced_works”：[”https://openalex.org/W3087814219","https://openalex.org/W3162580338“]，”related_works“：[”https://openalex.org/W3199501896","https://openalex.org/W2899084033","https://openalex.org/W2584544613","https://openalex.org/W2487780539","https://openalex.org/W2150567034","https://openalex.org/W2128838529","https://openalex.org/W2103682945","https://openalex.org/W1986429936","https://openalex.org/W1582066898","https://openalex.org/W1518014641“]，”ngrams_url“：”https://api.openalex.org/works/W4308273741/ngrams“，”abstract_inverted_index“：｛”We“：[0]，”report“：[1]，”on“：[2，9，53]，”vertical“：[3]，”stacked“：[4]，”nanosheet“：[5]，”（NS）“：[6]，”FETs“：[7]，”focusing“：[8]，”the“：[10，31，91]，”combined“：[11]，”inner“：[12]，”spacers“：[13]，”and“：[14，33，37，78，84106]，”source/drain“：[15]，“（S/D）”：[16]，“外延”：[17]，“生长”：[18]，“模块”：[19]，“序列”：[20]，“a”：[21]，“key“：[22]，“integration”：[23]，“flow”：[24]，“differentiator”：[25]，“as”：[26,97]，“compared”：[27]，“to”：[28,69,93,98]，“finFET，”：[29]，“addressing”：[30]，“impact”：[32]，“control”：[34]，“of”：[35,43]，“parasitics”：[36]，“channel”：[38]，“strain”：[39]，“engineering”：[40]，“The”：[41]，“使用”：[42]，“两者”：[44]，“晶圆”：[45,60]，“侧面”：[46]，“用于”：[47,72107]，“设备”：[48]，“连接，“：[49]，”via“：[50]，”nTSV“：[51]，”landing“：[52]，”undered“：[54]，”power“：[55]，”rails“：[56]，”（BPR）“：[57]，”after“：[58]，”extreme“：[59]，”thinning“，”：[61]，“is”：[62,67]，“also”：[63,89]，“进行了讨论。“：[64]，“This”：[65]，“configuration”：[66]，“shown”：[68]，“be”：[70]，“advantive”：[71]，“getting”：[73]，“reduced”：[74]，“IR”：[75]，“drop”：[76]，“values”：[77]，“for”：[79]，“overall”：[80]，“enabiling”：[81]，“增强”：[82]，“performance”：[83]，“additional”：[85]，“area”：[86]，“scaling”。“：[87]，”It“：[88]，”has“：[90]，”potential“：[92]，”further“：[94]，”expand“：[95]，”such“：[96]，”include“：[99]，”extra“：[100]，”options，“：[101]，”together“:[102]，”with“：[103]，”novel“：%104]，”devices/circuits“：[105]，”variables“：[108]，”applications。“：[109]}，”cited_by_api_url“：”https://api.openalex.org/works？filter=cites:W4308273741“，”counts_by_year“：[]，”updated_date“：”2024-08-10T18:08:58.733331“，”created_date:“2022-11-10”}“