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静电MEMS的静态自由边界问题建模。 (英语) Zbl 1268.78004号

作者研究了在微电子机械系统中,由于施加静电力引起的变形,弹性膜发生小位移的自由边界模型。固定解决方案仅适用于小电压值。此外,通过证明两个模型的解收敛的条件,证明了标准窄间隙模型的应用是合理的。

MSC公司:

78A30型 静电和磁力静力学
2015年1月74日 固体力学中的电磁效应
74K15型
35J47型 二阶椭圆系统
35升20 二阶双曲方程的初边值问题
78A55型 光学和电磁理论的技术应用
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