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半导体技术中的单一掺杂扩散。 (英语) Zbl 1036.35074号

概述:本文讨论半导体技术中对扩散模型的分析。基本模型包含移动点缺陷和掺杂缺陷对的反应-裂谷扩散方程,以及与电子化学势的非线性泊松方程耦合的固定掺杂的反应方程。对于齐次结构,我们给出了强解的存在唯一性结果。从能量估计开始,我们进一步推导了先验估计,使得Leray-Shauder的不动点参数保证了模型方程的可解性。

理学硕士:

35千50 抛物方程组,边值问题(MSC2000)
82天37分 半导体统计力学
35K57型 反应扩散方程
60年第35季度 与光学和电磁理论相关的PDE
第78页第35页 带电粒子的运动
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全文: 内政部