林毅洪;雷蒙德·阿多梅提斯(Raymond A.Adomaitis)。 射频等离子体辉光放电的模拟和模型简化方法。 (英语) Zbl 1065.76633号 J.计算。物理学。 171,第2期,731-752(2001). 总结:我们报道了带有射频电离源的等离子体辉光放电模型的数值解和模型简化结果。发现全局光谱方法的伪光谱实现可提供准确的模拟结果,该结果正确反映了模拟操作条件下氩等离子体的预期物理行为。数值残差分析用于确认解的收敛性。使用从详细模拟中获得的快照,根据两组经验确定的本征函数生成一个简化的基,并根据其边界条件类型进行区分(Dirichlet与Neumann)。通过这种模型简化方法,发现通过将原始建模方程投影到简化的基础上,可以准确地预测状态变量,与原始模拟相比,可以节省大量的计算量。讨论了模型简化方法在预测二次(导出)量方面的局限性。 引用于三文件 MSC公司: 76X05型 电磁场中的电离气体流动;浆流 76平方米 谱方法在流体力学问题中的应用 关键词:搭配;全局基函数;辉光放电;模型简化;等离子体处理;拟谱方法 软件:MWR工具 PDF格式BibTeX公司 XML格式引用 \textit{Y.-h.Lin}和\textit{R.A.Adomaitis},J.Compute。物理学。171,第2号,731--752(2001;Zbl 1065.76633) 全文: 内政部 链接 参考文献: [1] Foias,C。;Jolly,M.S。;Kevrekidis,I.G。;出售,G.R。;Titi,E.S.,《关于惯性流形的计算》,Phys。莱特。A.,131433(1988) [2] Christofides,P.D。;Daoutidis,P.,扩散-对流-反应过程的非线性控制,计算机。化学。《工程补遗》,20,1071(1996) [3] Christofides,P.D。;Daoutidis,P.,使用近似惯性流形的抛物线PDE系统的有限维控制,J.Math。分析。申请。,216, 398 (1997) ·Zbl 0890.93051号 [4] 萨诺,H。;Kunimatsu,N.,《惯性流形理论在半线性扩散系统边界稳定化中的应用》,J.Math。分析。申请。,196,18(1995年)·Zbl 0844.93065号 [5] 霍姆斯,P。;Lumley,J.L。;Berkooz,G.,《湍流、相干结构、动力系统和对称性》(1996)·Zbl 0890.76001号 [6] Sirovich,L。;Knight,B.W。;Rodriguez,J.D.,最优低维动态近似,夸特。申请。数学。,四十八、 535(1990)·Zbl 0715.58023号 [7] 西奥多罗普洛,A。;阿道迈提斯,R.A。;Zafiriou,E.,快速热化学气相沉积系统优化的模型简化,IEEE Trans。半秒。制造,11,85(1998) [8] 迪恩,A.E。;Kevrekidis,I.G。;Karniadakis,G.E。;Orszag,S.A.,《复杂几何流的低维模型:沟槽和圆柱的应用》,Phys。流体A,33237(1991)·Zbl 0746.76021号 [9] 班纳吉,S。;科尔,J.V。;Jensen,K.F.,《快速热处理系统的非线性模型简化策略》,IEEE Trans。半秒。制造。,11, 266 (1998) [10] 阿林,H。;班纳吉,S。;Bangia,A.K。;科尔,V。;埃伯特,J。;Emami-Naeini,A。;Jensen,K.F。;Kevrekidis,I.G。;Shvartsman,S.,用于快速热处理模拟和控制的非线性模型简化,美国控制会议论文集,2233(1997) [11] S.Y.Shvartsman和I.G.Kevrekidis,《分布式系统控制的非线性模型简化:计算机辅助研究》,AIChE J.44,第7期,15791998年。;S.Y.Shvartsman和I.G.Kevrekidis,《分布式系统控制的非线性模型简化:计算机辅助研究》,AIChE J.44,第7期,15791998年。 [12] H.M.Park和D.H.Cho,《流动反应器的低维建模》,《国际传热传质杂志》,第39期,第16期,第3311页,1996年。;H.M.Park和D.H.Cho,《流动反应器的低维建模》,《国际传热传质杂志》,第39期,第16期,第3311页,1996年。 [13] 帕克,H.M。;Kim,T.H。;Cho,D.H.,使用Karhunen-Loéve分解估算流动反应器中的参数,计算。化学。工程师,23109(1998) [14] 帕克,H.M。;Lee,M.W.,《求解Navier-Stokes方程用于流量控制的有效方法》,国际期刊Numer。方法工程,41,1133(1998)·Zbl 0912.76061号 [15] 格雷夫斯,D.B。;Jensen,K.F.,直流和射频放电的连续模型,IEEE Trans。血浆科学。,14, 78 (1986) [16] Meyyappan,M.,半导体加工中的计算建模(1995) [17] 林,Y.-H。;Adomaitis,R.A.,直流辉光放电模拟的全局基函数方法,Phys。莱特。A、 243142(1998年) [18] 克莱恩,L.E。;Kushner,M.J.,材料处理等离子体放电的计算机模拟,《固体材料科学评论》。,16, 1 (1989) [19] 阿道迈提斯,R.A。;林,Y.-H。;Chang,H.-Y.,基于边值问题的仿真计算框架,仿真,74,28(2000)·兹比尔1038.68594 [20] 帕斯彻,J.D.P。;Goedheer,W.J.,氩射频放电的二维流体模型,J.Appl。物理。,74, 3744 (1993) [21] 帕斯彻,J.D.P。;Goedheer,W.J.,电负性射频放电中激光诱导光剥离后的弛豫现象,J.Appl。物理。,73, 1073 (1993) [22] A.D.理查兹。;汤普森,B.E。;Sawin,H.H.,氩射频辉光放电的连续建模,应用。物理学。莱特。,50, 492 (1987) [23] 果戈里德斯,E。;Sawin,H.H.,射频辉光放电的连续建模。二、。参数研究和敏感性分析,J.Appl。物理。,72, 3988 (1992) [24] 果戈里德斯,E。;Sawin,H.H.,射频辉光放电的连续建模。I.正电和负电气体的理论和结果,J.Appl。物理。,72, 3971 (1992) [25] 果戈里德斯,E。;萨温,H.H。;Brown,R.A.,射频等离子体连续介质模型的时间-周期稳态直接计算,化学。工程科学。,47, 3839 (1992) [26] Huppert,G.L。;Sawin,H.H。;Brown,R.A.,射频辉光放电的光谱元素分析,化学。工程科学。,49, 1601 (1994) [27] Kushner,M.J.,等离子体设备建模进展,固态技术。,135 (1996) [28] Lymberopoulos,D.P。;Economou,D.J.,与气体电子会议射频参考电池相关的二维自洽射频等离子体模拟,J.Res.Nat.Inst.Stand。技术。,100473(1995年) [29] 巴恩斯,M.S。;科特勒,T.J。;Elta,M.E.,求解低压射频辉光放电传输方程的交错有限差分数值方法,J.Compute。物理。,7, 53 (1988) ·Zbl 0709.76523号 [30] C.Li,和,C.-H.Wu,射频辉光放电的颗粒-细胞法三流体传输模型,IEEE Trans。血浆科学。1992年第61000号第20页。;C.Li,和,C.-H.Wu,射频辉光放电的颗粒-细胞法三流体传输模型,IEEE Trans。血浆科学。1992年第6期第20页,第1000页。 [31] 苏伦德拉,M。;Graves,D.B.,《射频辉光放电的粒子模拟》,IEEE Trans。血浆科学。,19, 144 (1991) [32] Bogaerts,A。;Gijbels,R.,直流辉光放电的混合蒙特卡罗流体模型,J.Appl。物理。,78, 2233 (1995) [33] Kushner,M.J.,《低压等离子体处理反应器中不对称泵送的后果:三维建模研究》,J.Appl。物理。,82, 5312 (1997) [34] M.Meyyappan和J.P.Kreskovsky,通过求解Boltzmann输运方程的矩模拟辉光放电,J.Appl。物理学。6815061990年第4期。;M.Meyyappan和J.P.Kreskovsky,通过求解Boltzmann输运方程的矩模拟辉光放电,J.Appl。物理学。6815061990年第4期。 [35] Fornberg,B.,《伪谱方法实用指南》(1996年)·Zbl 0844.65084号 [36] Gottlieb,G。;Orszag,S.A.,《谱方法的数值分析:理论与应用》(1977年)·Zbl 0412.65058号 [37] 赖斯,R.G。;Do,D.D.,《化学工程师应用数学和建模》(1995年) [38] 出版社,W.H。;弗兰纳里,B.P。;Teukolsky,S.A。;韦特林,W.T.,《FORTRAN中的数字配方:科学计算的艺术》(1992)·Zbl 0778.65002号 [39] 林,Y.-H。;Chang,H.-Y。;Adomaitis,R.A.,MWR(工具):加权残差法计算库,计算。化学。工程,231041(1999) [40] Sirovich,L.,湍流和相干结构动力学。第一部分:相干结构,夸特。申请。数学。,四十五、 561(1987)·Zbl 0676.76047号 [41] Lin,Y.-H.,《从详细模拟到模型简化:等离子处理应用的数值工具开发》(1999年) 此参考列表基于出版商或数字数学图书馆提供的信息。其项与zbMATH标识符进行启发式匹配,可能包含数据转换错误。在某些情况下,zbMATH Open的数据对这些数据进行了补充/增强。这试图尽可能准确地反映原始论文中列出的参考文献,而不要求完整或完全匹配。