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James C.Chen。;戴锐德;陈家文

晶圆制造厂的实用晶圆厂设计程序。 （英语） Zbl 1160.90381号

国际J.生产研究。 46，第10号，2565-2588（2008）.
摘要：设施设计对半导体行业晶圆厂的性能至关重要。本研究提出了一种实用的晶圆厂设计程序（FDP），用于进行快速计算，以开发和评估初始晶圆厂设计方案。本文提出了一系列实用公式，从不同的角度依次确定以下设计参数：所需的机器数量；机器分组和分配；银行间流动矩阵；隔间尺寸和位置；银行间距离矩阵；内部物料处理系统中所需的车辆数量；和平均晶圆移动距离。提出了基于FDP的晶圆厂设计的基本原则。通过一个案例研究，证明了FDP的有效性和效率。结果表明，FDP能够快速计算所需的机器数量和相关的工厂设计参数。有了这个工具，晶圆厂设计师将能够评估设计备选方案，并在晶圆厂设计的初始阶段进行假设分析。

引用于1文件

MSC公司：

90B30型 生产模型

关键词：

设施布局;半导体制造;设施规划;设施设计
PDF格式BibTeX公司 XML格式引用
\textit{J.C.Chen}等人，《国际期刊生产研究》第46号，第10期，2565--2588页（2008年；Zbl 1160.90381）
全文： DOI程序

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