M.M.Joglekar博士。;D.N.帕瓦斯卡。 静电驱动微束的形状优化，以扩大静态和动态工作范围。 （英语） Zbl 1274.74346号 结构。多磁盘。最佳方案。 46，第6号，871-890（2012）. 总结：我们介绍了一种通用形状优化方法的系统开发和应用，以提高静电驱动微束的静态和动态吸合范围。基于能量的技术用于提取分布式机电模型的静态和动态引入参数，该参数考虑了边缘场电容、适度大的偏转以及机械力和电力之间的耦合。使用多功能参数宽度函数表征悬臂和固定微梁的非棱镜几何结构，并使用函数最小化的Nelder-Mead方法和惩罚方法优化所提出的宽度函数的参数，以加强约束。我们考虑了几个测试用例，以充分证明所建议方法的实用性。结果表明，使用我们的优化方法可以将行程范围增加20%。在固定-固定微束的情况下，发现移动范围内的这种增强取决于几何非线性的程度。我们提出了这些微束的最佳形状，这些微束易于用于微加工，在静态和动态状态下都表现出改进的吸合响应。对于一组典型案例，通过对参考和优化几何结构进行三维有限元分析，验证了在静态和动态驱动模式下增加的行程范围。 MSC公司： 第74页第15页 固体力学优化问题的拓扑方法 74M05个 固体力学中的控制、开关和设备（“智能材料”） 74S05号 有限元方法在固体力学问题中的应用 74M25型 固体微观力学 关键词：微电子机械系统;形状优化;非棱镜光束;拉入不稳定性;惩罚方法;有限元分析 软件：康索尔;优化工具箱;布伦特;Matlab公司 PDF格式BibTeX公司 XML格式引用 \textit{M.M.Joglekar}和\textit{D.N.Pawaskar}，结构。多磁盘。最佳方案。46，第6号，871--890（2012；Zbl 1274.74346） 全文： 内政部 参考文献： [1] Abdalla M，Reddy C，Faris W，Gürdal Z（2005）静电驱动微束的最大引入电压优化设计。计算结构83（15–16）：1320–1329。doi:10.1016/j.compstruc.2004.07.010·doi:10.1016/j.compstruc.2004.07.010 [2] Allen M、Raulli M、Maute K、Frangopol 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