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一些等离子体-表面相互作用过程的子程序:物理溅射、化学侵蚀、辐射增强升华、后向散射和热蒸发。 (英语) Zbl 1196.82035号

摘要:一套FORTRAN公司使用任何元素入射离子(原子)的单原子靶物理溅射、石墨的化学侵蚀、石墨的辐射增强升华(RES)、任何元素入射离子(原子)的数量和能量反向散射系数的经验公式生成数据的子程序/函数介绍了复合靶上石墨的热蒸发。由于化学侵蚀、RES和热蒸发取决于石墨的表面温度,因此实现了一个实现一维热扩散方程的子程序,以确定任何面向等离子体的石墨表面的温度。举例说明这些子程序/函数的使用,一个简单的等离子体表面侵蚀模型,由一个简单无碰撞鞘层模型组成,建立了一维稳态热扩散模型和靶区0维稳态粒子平衡,并给出了程序示例。

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参考文献:

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