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孟广;张文明;黄，海;李洪光;陈迪

微电子机械系统（MEMS）的微电机动力学。 （英语） Zbl 1197.37140号

混沌孤子分形 40，第2期，538-562（2009）.
概述了我国微电子机械系统（MEMS）微电机动力学的发展概况。我们考虑了机械和电气现象之间最重要的耦合，然后重点研究了微电机和功率MEMS器件的动态建模和仿真。对考虑尺度效应的转子和干摩擦轴承的磨损和摩擦进行了描述，并对其动力学特性进行了研究。对静电微电机转子和轴瓦的接触动力学进行了分析和数值模拟。描述并讨论了摩擦冲击微电机系统的非线性动力学特性。最后，我们简要回顾了气体微轴承的缩放效应和滑移效应，并进一步考虑了微旋转机械转子-轴承系统的响应和稳定性。研究表明，在微观尺度上对微转子非线性动力学进行全面研究，对于设计合理的系统和建立可靠的微机电系统微旋转机械诊断系统具有重要意义。
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37号35 控制中的动态系统
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\textit{G.Meng}等人，混沌孤子分形40，No.2，538--562（2009；Zbl 1197.37140）
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