拉思，P。;Chai，J.C。;郑，H。;林，Y.C。;V.M.穆鲁克珊。;朱，H。 用于扩散和反应控制的湿化学蚀刻的固定网格方法。 （英语） Zbl 1189.76580号 国际传热传质杂志 48，第11期，2140-2149（2005）. 小结：提出了一种新的湿化学蚀刻过程数学模型。该方法是基于蚀刻剂总浓度的固定网格方法。它类似于熔化/凝固问题建模中使用的焓法。总浓度是未反应蚀刻剂浓度和反应蚀刻液浓度的总和。反应的蚀刻剂浓度用于捕获蚀刻前沿。建立了基于总浓度的控制方程。该控制方程与传统控制方程等效。它还包含接口条件。提出了更新反应浓度的程序。给出了一维扩散控制和反应控制刻蚀的数值结果。 MSC公司： 76兰特 扩散 76伏05 流动中的反应效应 76个M12 有限体积法在流体力学问题中的应用 80A22型 Stefan问题、相位变化等。 80A20型 传热传质、热流（MSC2010） PDF格式BibTeX公司 XML格式引用 \textit{P.Rath}等人，《国际传热传质杂志》48，第11期，2140--2149（2005；Zbl 1189.76580） 全文： 内政部