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刘玉萍;刘康志;杨晓峰

磁滞补偿磁阻电机的非线性电流控制。 （英语） Zbl 1307.93292号

控制科学杂志。工程师。 2014年，文章ID 150345，第7页（2014年）.
小结：下一代晶圆扫描仪精细级需要一个合适的驱动器来满足高速、高加速度和高精度的要求。音圈驱动器因其尺寸大、散热困难而不再是最佳选择。磁阻执行器具有体积小、电流小的独特特性，可以提供较大的力，是一种非常合适的执行器。但电流和力之间的滞后等强非线性限制了磁阻驱动器在纳米定位中的应用。本文提出了一种利用自适应多层神经网络进行滞环补偿的非线性电流控制结构。仿真结果表明，滞环补偿器在克服滞环方面是有效的，在精密控制中具有广阔的应用前景。

MSC公司：

93立方厘米 控制理论中的应用模型
93立方厘米 控制理论中的非线性系统
93立方厘米 由常微分方程控制的控制/观测系统
93C40型 自适应控制/观测系统
92B20型 生物研究、人工生命和相关主题中的神经网络

关键词：

晶圆扫描仪;磁阻执行器;强非线性;电流控制配置;磁滞补偿;自适应多层神经网络
PDF格式BibTeX公司 XML格式引用
\textit{Y.-P.Liu}等人，J.控制科学。Eng.2014，文章ID 150345，7 p.（2014；Zbl 1307.93292）
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