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考虑参数误差的参数激励时间周期MEMS的动态行为。 (英语) Zbl 1373.93132号

概述:微电子机械系统(MEMS)是能够将电能转换为机械能或反之亦然的微尺度器件。本文通过Picard相互作用的Chebyshev多项式展开和Lyapunov-Floquet变换,以及最优线性反馈控制(OLFC),对具有时间周期参数激励的谐振式MEMS质量传感器电子电路的数学模型进行了分析和控制。这两种控制都考虑了反馈和前馈控制的结合。通过Picard相互作用和Lyapunov-Floquet变换得到的反馈控制是第一种策略,最优控制理论是第二种策略。数值仿真表明了这两种控制方法的有效性,以及每种控制策略对参数误差的敏感性。在没有参数误差的情况下,这两种控制策略都能有效地将系统保持在期望的轨道上。另一方面,在存在参数误差的条件下,OLFC技术更加稳健。

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93B52号 反馈控制
82天80 纳米结构和纳米颗粒的统计力学
93立方厘米05 控制理论中的线性系统
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全文: 内政部