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聚焦离子束系统的数学模型。 (英语) Zbl 0834.00004号

摘要:聚焦离子束系统的计算机模拟在许多科学仪器的设计中起着重要作用。本文描述了一种为中型计算机开发的计算技术,该技术已应用于许多仪器设计应用。这些应用包括单个离子透镜、表面分析仪器中离子的提取光学以及离子束光刻柱的设计。

MSC公司:

00A69号 普通应用数学
78甲15 电子光学
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