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纳米薄膜中三维有序度的测定仍然具有挑战性。真实空间成像方法,包括电子显微镜和扫描探针方法,很难重建胶片的深度,并且统计采样有限。X射线和中子散射已成为强大的互补技术,但在数据收集和分析方面存在巨大挑战。本文描述了一种新的方法,掠入射透射小角度X射线散射,它允许快速散射测量,而不受迄今为止困扰掠入射X射线散射的折射和反射效应的影响,通过布置其中散射通过衬底的边缘离开的样本/光束几何形状,可以记录由直接(Born近似)散射模型很好地描述的散射图像。

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