在低折射率区轴[100]、[110]和[111]附近的硅会聚束电子衍射图中研究了高阶劳厄区(HOLZ)线。这些线的可见度取决于第一劳厄区反射的有效结构势,取决于它们的德拜-沃勒因子。非弹性散射电子强烈降低了HOLZ线的对比度。它们可以通过图像排除Ω能量损失大于2eV的滤光片。衍射图样与多光束计算进行了比较。在没有吸收的情况下,[111]和[100]区域轴可以达到很好的一致性,而[110]区域轴图案的模拟需要进行吸收计算。布洛赫波图像解释了出现这种现象的原因。然而,吸收计算导致[100]HOLZ图案的强度分布出现伪影。为了与实验取得一致,必须针对不同的区域轴以不同的方式修改德拜-沃勒因子。这对应于德拜-沃勒因子的强各向异性。为了证实这一观察结果,研究了50到680 K之间HOLZ图案强度分布的温度依赖性。在室温下,参数D类德拜–沃勒因子exp(−D类2)测定为0.13、0.26和0.55º2分别针对分区轴[100]、[111]和[110]。讨论了结论的可靠性。